20 30 40 50 55 60 65 70 75 80   90 100 110 120 130   140   150   160   170   180 190 200   210 220 230 240 250 260 270 280 300 320 330 350 380 400 420 440 450 520 530 560 600

2 µm 5 µm 10 µm 20 µm 35 µm  60 µm  150 µm